本発明において、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記作動体に設けられたコレット摺接部に対して前記基準部が軸線方向に移動可能に摺接することにより保持されるように構成してもよい。ここで、前記コレットは、前記作動体の外周側に配置されても、内周側に配置されてもよい。これらの場合には、前記受圧部が前記流体圧を受けることにより前記作動体が軸線方向先端側へ移動するとき、前記シリンダ摺接部が前記シリンダ構造の内面に対して摺動するとともに前記コレット摺接部が前記コレットに対して摺動しながら、前記駆動部が前記コレットの前記被動部に駆動力を与えることが望ましい。また、前記コレットが前記作動体の外周側に配置される場合には、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記ハウジングに設けられた内面に前記基準部が支持されることにより固定されるように構成してもよい。
図６には、第５実施形態のハンドリングユニット５０の縦断面図（ａ）、平面図（ｂ）及び正面図（ｃ）を示す。この第５実施形態では、第１実施形態と同様のコレット５１、ハウジング５２及び作動体５３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ５８を介して流体供給口５２ｐから流体がシリンダ構造５２ｓ内に供給可能になっている。このため、第１～第４実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング５２が、平坦面５２ｆを備えた外面構造を有する点で第１実施形態と異なる。平坦面５２ｆは、図示例では上面と下面の２面に形成されているが、いずれか一方の面にのみ形成されていてもよい。平坦面５２ｆを設け、この平坦面５２ｆをロボットアーム先端部の取付面に装着する際に、ハンドリングユニット５０を取付し易くなるとともに、その取付姿勢の高精度化や取付剛性の強化を図ることができる。
また、本実施形態では、コレット１１と作動体１３がハウジング１２内において半径方向に直接に摺動可能な構造で収容されるため、半径方向のコンパクト化を図ることができる。特に、軸線方向基端側にシリンダ構造１２ｓと受圧面１３ｄ及びシリンダ摺接部１３ｓにより、流体圧による作動体１３の軸線方向先端側への駆動構造を設け、軸線方向先端側にはハウジング１２と作動体１３の間の空間内に構成された作動ばね１４などの作動体付勢手段によって作動体１３の軸線方向基端側への復帰機能を設けるようにしている。これにより、軸線方向先端側をさらに容易にコンパクト化することができる。また、後述するように流体圧を変えることによって、流体圧と作動体付勢手段の付勢力との差によって生ずる把持力を容易に調整可能なユニットを実現できる。
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前記ハンドリングユニットの前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、
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本発明において、前記ハウジングは、軸線方向先端側の内面に設けられる先端側内面部分と、該先端側内面部分に対して軸線方向基端側に内形寸法を増大させる第１の段部を介して前記シリンダ構造の内面に設けられた基端側内面部分と、を有し、前記作動体は、軸線方向の位置が前記先端側内面部分に重なる範囲の外面に設けられた先端側外面部分と、該先端側外面部分に対して軸線方向基端側に外形寸法を増大させる第２の段部を介して設けられた前記シリンダ摺接部を含む基端側外面部分と、を有し、前記第１の段部は前記第２の段部に対して軸線方向先端側に形成されることが好ましい。この場合において、前記第１の段部と前記第２の段部の間に配置され、前記作動体を軸線方向基端側へ付勢する作動体付勢手段がさらに設けられることが望ましい。前記作動体付勢手段は、前記第１の段部と前記第２の段部の間に収容された弾性復元力を与える弾性体により構成されることが望ましい。
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図３には、第２実施形態のハンドリングユニット２０の縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）を示す。この第２実施形態では、第１実施形態と同様のコレット２１、ハウジング２２及び作動体２３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ２８を介して流体供給口２２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング２２の支持部２２ｄに設けられた通気口２２ｑにコネクタ２９を接続し、コネクタ２９を介して通気口２２ｑから軸孔２１ｘ内へ流体を供給したり、軸孔２１ｘ内から通気口２２ｑを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第１実施形態と異なる。ここで、通気口２２ｑは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。